上海芯源微企业发展有限公司

芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，公司主要产品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，公司产品已实现批量销售，目前已累计销售1200台套，称国内半导体装备产业细分市场的“隐形冠军”。2019年芯源微在上交所科创板上市，成为半导体光刻设备第一股，也是辽宁省科创板第一股。芯源微立足自主研发，持续引进行业高端人才，连续承担国家02科技重大专项，通过多年技术积累、创新提高，形成自主知识产权体系。
上海芯源微企业发展有限公司于2021年2月份成立，占地面积3万㎡，规划总建筑面积约5万㎡。项目建成后将建设将开展浸没光刻匹配的涂胶显影机、单片式清洗机等高端半导体设备及与之相关的核心部件及软件平台技术的研发及产业化。